薄膜厚度對(duì)TGZO透明導(dǎo)電薄膜光電性能的影響
薄膜厚度對(duì)TGZO透明導(dǎo)電薄膜光電性能的影響
利用直流磁控濺射法, 在室溫水冷玻璃襯底上成功制備出了可見(jiàn)光透過(guò)率高、電阻率低的鈦鎵共摻雜氧化鋅( TGZO) 透明導(dǎo)電薄膜。X 射線衍射和掃描電子顯微鏡研究結(jié)果表明, TGZO 薄膜為六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)的多晶薄膜, 且具有c 軸擇優(yōu)取向。研究了厚度對(duì)TGZO 透明導(dǎo)電薄膜電學(xué)和光學(xué)性能的影響, 結(jié)果表明厚度對(duì)薄膜的光電性能有重要影響。當(dāng)薄膜厚度為628 nm 時(shí), 薄膜具有*小電阻率2.01X10- 4 cm。所制備薄膜在波長(zhǎng)為400~ 760 nm 的可見(jiàn)光中平均透過(guò)率都超過(guò)了91%,TGZO 薄膜可以用作薄膜太陽(yáng)能電池和液晶顯示器的透明電極。
近年來(lái), 隨著光電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展, 對(duì)透明導(dǎo)電薄膜, 特別是氧化物透明導(dǎo)電(TCO) 薄膜的需求急劇上升。摻錫氧化銦透明導(dǎo)電( ITO) 薄膜具有高的可見(jiàn)光透光率、紅外反射率和低的電阻率以及良好的機(jī)械強(qiáng)度、化學(xué)穩(wěn)定性、耐磨損特性, 是目前應(yīng)用*為廣泛的透明導(dǎo)電氧化物。但由于In, Sn等材料自然儲(chǔ)量少、制備工藝復(fù)雜、成本高、有毒、穩(wěn)定性差, 因此限制了它的廣泛使用。所以, 需要尋求一種替代產(chǎn)品以滿足實(shí)際需要。ZnO 具有纖鋅礦結(jié)構(gòu), 室溫禁帶寬度為3.37 eV。摻雜ZnO 透明導(dǎo)電薄膜光電性能優(yōu)良, 且制備所需原材料豐富, 價(jià)格便宜,無(wú)毒, 很有可能成為ITO 產(chǎn)品的替代品。適當(dāng)?shù)膯卧負(fù)诫s能較大幅度地提高ZnO 薄膜的電學(xué)性能, 如Al,Ti, Ga 等元素的摻雜均能明顯改善薄膜的電學(xué)性能, 但薄膜的光學(xué)性能和化學(xué)穩(wěn)定性卻不盡人意。為此, 近幾年人們開(kāi)始嘗試通過(guò)共摻雜ZnO 來(lái)獲得具有優(yōu)良光電性能的透明導(dǎo)電薄膜。當(dāng)前, 共摻雜ZnO 透明導(dǎo)電薄膜的研究工作有Al, Mn 共摻雜ZnO 薄膜,Al, Gd 共摻雜ZnO 薄膜, Al, Cr 共摻雜ZnO 薄膜,Al,Ti 共摻雜ZnO 薄膜等。Ti, Ga 共摻雜ZnO( TGZO) 透明導(dǎo)電薄膜的研究還未見(jiàn)報(bào)道。
本文采用直流磁控濺射法在水冷玻璃襯底上制備出了具有良好附著性能的TGZO 透明導(dǎo)電薄膜。實(shí)驗(yàn)所獲得樣品TGZO 薄膜的*小電阻率為2.01 X10- 4cm。薄膜樣品在波長(zhǎng)為400~760 nm 范圍的可見(jiàn)光平均透過(guò)率大于91% 。
3、結(jié)論
利用直流磁控濺射法, 在室溫水冷玻璃襯底上成功制備出了高質(zhì)量的TGZO 透明導(dǎo)電薄膜, 其光電性能可與ITO薄膜相比。研究發(fā)現(xiàn), 制備的TGZO薄膜是多晶膜, 具有垂直于襯底方向的六角纖鋅礦結(jié)構(gòu), 628 nm 的薄膜樣品, 方口電阻為3.20 , 電阻率為2.01x10-4cm, 薄膜樣品的可見(jiàn)光( 400~760 nm) 平均透過(guò)率均大于91% , 實(shí)驗(yàn)制備的高質(zhì)量的TGZO 薄膜在液晶顯示器和薄膜太陽(yáng)能電池等微電子、光電子器件中將有著廣泛的應(yīng)用。
需要增透減反技術(shù)可以聯(lián)系我們
上海卷柔新技術(shù)光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學(xué)儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號(hào)灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術(shù)背景依托中國(guó)科學(xué)院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學(xué)儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學(xué)鍍膜產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務(wù)。
采用德國(guó)薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴(yán)格工藝標(biāo)準(zhǔn)的閉環(huán)式流程技術(shù)制備體系，能夠制備各種超高性能光學(xué)薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating,激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應(yīng)用領(lǐng)域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫(yī)用激光器、光學(xué)科研，紅外制導(dǎo)、面部識(shí)別、VR/AR應(yīng)用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫(huà)框，工業(yè)燈具照明，廣告機(jī)，點(diǎn)餐機(jī)，電子白板，安防監(jiān)控等。卷柔新技術(shù)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全自動(dòng)生產(chǎn)線【sol-gel溶膠凝膠法鍍膜線】，這條生產(chǎn)線能夠生產(chǎn)全球先進(jìn)的減反射玻璃。鍍膜版面可達(dá)到2440*3660mm，玻璃厚度從0.3mm到12mm都可以,另外針對(duì)PC,PMMA方面的增透膜也具有量產(chǎn)生產(chǎn)能力。ARcoating減反膜基本接近無(wú)色,色彩還原性好，并且可以避免了磁控濺射的缺點(diǎn)，鍍完增透膜后玻璃可以做熱彎處理和鋼化處理以及DIP打印處理。這個(gè)**難度和具有很好的應(yīng)用性，新意突出，實(shí)用性突出，濕法鍍膜在價(jià)格方面也均優(yōu)于真空磁控的干法。
卷柔減反射(AR)玻璃的特點(diǎn):高透,膜層無(wú)色,膜硬度高,抗老化性強(qiáng)(耐候性強(qiáng)于玻璃),玻璃長(zhǎng)期使用存放不發(fā)霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機(jī)玻璃、節(jié)能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護(hù)玻璃等多行業(yè)。
我們的愿景：卷柔讓光學(xué)更具價(jià)值！
我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術(shù)！
我們的目標(biāo)：以高質(zhì)量的產(chǎn)品，優(yōu)惠的價(jià)格,貼心的服務(wù)，為客戶提供優(yōu)良的解決方案。
上海卷柔科技以現(xiàn)代鍍膜技術(shù)為核心驅(qū)動(dòng)力，通過(guò)鍍膜設(shè)備、鍍膜加工、光學(xué)鍍膜產(chǎn)品服務(wù)于客戶，努力為客戶創(chuàng)造新的利潤(rùn)空間和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，為中國(guó)的民族制造業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。